金實(shí)力概述最近超精密研磨技術(shù)的研究動(dòng)態(tài)，介紹了研磨技術(shù)的原理、 應(yīng)用和優(yōu)勢(shì)，同時(shí)介紹了課題組研制的基于修正環(huán)在線修整拋光盤技術(shù)及專家數(shù)據(jù)庫(kù)系統(tǒng)控制的Nanopol i -100 智能型納米級(jí)拋光機(jī)，結(jié)合該領(lǐng)域的最新研究成果，提出了其向高精度、 高效率發(fā)展的方向。

　　金實(shí)力研磨是一種重要的精密和超精密加工方法。其定義可以表述為：利用磨具通過磨料作用于工件表面，進(jìn)行微量加工的過程。 根據(jù)加工方法的機(jī)理和特點(diǎn)，最基本的加工方法可以分為： 去除加工、 結(jié)合加工和變形加工3 大類4。然而，在最新的多性能復(fù)雜形態(tài)的元件加工中，往往是上述幾種加工法的復(fù)合作用。

　　1微量材料去除的機(jī)械作用及化學(xué)作用設(shè)想

　　材料去除的最小單位是1 層原子的話，那么，最基本的材料去除是將表面的一層原子與內(nèi)部的原子切開。 機(jī)械加工必然殘留有加工變質(zhì)層，加工中還伴隨著化學(xué)反應(yīng)等復(fù)雜現(xiàn)象56，材料去除的原理是從一層原子到數(shù)層原子乃至數(shù)十層原子幾種狀態(tài)的復(fù)合。